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예열기(Laminator Pre Heater)

라미네이터(Laminator) 공정 전 단계에서 기판을 가열하여 레지스트/필름의 접착성과 공정 안정성을 확보하기 위한 IR Cure
  • 원적외선 IR HEATER 상·하부 적용
  • 표면을 균일, 연속 가열하는 수평형 1-Chamber IR 오븐
  • 안정적인 온도유지 및 열 손실을 최소화 및 고정밀 온도제어 구현
  • 상부 배기팬과 열배기 덕트 이용한 이물 및 활성 가스 배출
  • 터치스크린으로 모니터 기능 제공
  • 안전장치 및 정비 시 작업자 안전과 설비 보호 기능
  • 사양
    항목 상세 내용
    장비 형식 수평 IR OVEN
    컨베어 속도 0.5~4.5m/min 
    PASS Line 1,040±30mm
    IR HEATER 상부 및 하부
    기판 표면 온도

    Target 70℃
    온도 Spec.

    35℃~200℃±3℃
    메인 전원 Ø3, 220V, 50Hz, 사용 전력 16kW
  • TEMP INFO

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