안녕하세요 서브2의 문구입니다.

바스켓 터널 건조기

기판이 적재된 바스켓(Basket)을 자동으로 투입하여 열풍 순환 방식으로 정밀하게 건조 및 냉각하는 터널형 건조설비로 클린룸 환경에 대응하며, 초박막(박판) 기판을 안정적으로 처리할 수 있도록 설계된 고청정/고정밀 건조 자동화시스템입니다.
  • 바스켓 수평 반송 투입 방식을 사용하여 안정적인 적재 및 이송
  • 워킹빔 이송장치 사용하여 클린룸 환경 최적화
  • 박판 대응 (두께: 0.03mm) 가능
  • 청정도 유지를 위해 Hepa Filter 적용
  • 필터 관리를 위해 디지털 차압계를 적용으로 실시간 모니터링
  • 균일한 온도 분포와 안정적인 건조 품질 확보
  • 사양
    항목 상세 내용 항목 상세 내용
    바스켓 타입 비접촉 투입 측면 2개소 클램핑 온도 범위  35℃~200℃±3℃
    운송방식 워킹빔 냉각 장치 수냉식 냉각 시스템
    메인 전원 Ø3, 380V, 50Hz, 200KW 클린도 CLASS 1000 / 10000
    열풍 방식 열풍 상하 순환 방식 배기량 20CMM, 150Ø
    외형 치수 고객 사양 대응 설비 중량 고객 사양별 상이
  • TEMP INFO

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