안녕하세요 서브2의 문구입니다.

상부행거 터널건조기

기판을 행거(Top Hanger,클램프2점)에 장착 후 자동으로 투입하여 열풍 순환 방식으로 정밀하게 건조 및 냉각하는 터널형 건조설비로 클린룸 환경에 대응하며, 기판을 안정적으로 처리할 수 있도록 설계된 청정/정밀 건조 자동화시스템입니다.
  • 기판을 자동 정렬·클램핑하여 행거(Top Hanger)에 장착한 뒤 건조부로 연속 이송하는 구조
  • 순환식 냉각 유니트와 배기 시스템으로 안정적인 온도 하강
  • 청정도 유지를 위해 Hepa Filter 적용
  • 필터 관리를 위해 디지털 차압계를 적용으로 실시간 모니터링
  • 균일한 온도 분포와 안정적인 건조 품질 확보
  • 사양
    항목 상세내용
    운송 방식 체인 구동
    사이클 타임 25 Sec (Min)
    피치 63.5mm
    열풍 방식 열풍 상하 순환 방식
    냉각 장치 수냉식 냉각 시스템
    온도 범위 35℃~200℃±3℃
    클린도 CLASS 1000 / 10000
    메인 전원 Ø3, 380V, 50/60Hz
  • TEMP INFO

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